Dichlorosilane

Modèle:Infobox Chimie Le dichlorosilane est un composé chimique de formule Modèle:Fchim. Il se présente sous la forme d'un gaz incolore d'odeur piquante extrêmement inflammable et susceptible de former des mélanges explosifs avec l'air. Il est principalement utilisé dans l'industrie microélectronique avec l'ammoniac Modèle:Fchim pour déposer des couches minces de nitrure de silicium Modèle:Fchim par dépôt chimique en phase vapeur basse pression (LPCVD) :

3 Modèle:Fchim + 4 [[Ammoniac|Modèle:Fchim]] → [[Nitrure de silicium|Modèle:Fchim]] + 6 HCl + 6 [[Dihydrogène|Modèle:Fchim]].

Il est produit essentiellement par dismutation du trichlorosilane Modèle:Fchim avec formation parallèle de tétrachlorure de silicium Modèle:Fchim :

2 [[Trichlorosilane|Modèle:Fchim]]  $\rightleftharpoons$  Modèle:Fchim + [[Tétrachlorure de silicium|Modèle:Fchim]].