Triméthylsilane

Modèle:Infobox Chimie Le triméthylsilane est un composé chimique de formule Modèle:Fchim. Il s'agit d'un gaz incolore à l'odeur douceâtre et nauséeuse, très inflammable, susceptible de s'enflammer spontanément en présence d'impuretés et formant des mélanges explosifs avec l'air. Il peut être produit en réduisant le chlorure de triméthylsilyle Modèle:Fchim avec un réducteur approprié, comme l'aluminohydrure de lithium Modèle:Fchim :

4 [[Chlorure de triméthylsilyle|Modèle:Fchim]] + [[Aluminohydrure de lithium|Modèle:Fchim]] ⟶ 4 Modèle:Fchim + LiCl + [[Chlorure d'aluminium|Modèle:Fchim]].

Il peut être utilisé dans l'industrie des semi-conducteurs pour le dépôt de diélectriques ou de Modèle:Lien par dépôt chimique en phase vapeur assisté par plasma (Modèle:Abréviation).