Néopentasilane

Modèle:Infobox Chimie Le néopentasilane est un composé chimique de formule Modèle:Fchim. Il se présente sous la forme d'un liquide incolore pyrophorique.

Il est utilisé notamment dans l'industrie des semiconducteurs pour produire des couches minces de silicium par dépôt chimique en phase vapeur (Modèle:Abréviation), et permet également d'obtenir du nitrure de silicium Modèle:Fchim par [[Atomic Layer Deposition|Modèle:Lang]] assisté par plasma (Modèle:Abréviation).