Fluorosilane
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Modèle:Infobox Chimie Le fluorosilane est un composé chimique de formule Modèle:Fchim. Il se présente sous la forme d'un gaz incolore qui se condense à Modèle:Tmp en un solide cristallisé dans le système monoclinique, ayant à Modèle:Unité le groupe d'espace P2Modèle:Ind/n (Modèle:N°)[1].
Le fluorosilane peut être obtenu en faisant réagir du fluorométhane Modèle:Fchim avec du silicium[2], de l'éther de silyle et de méthyle Modèle:Fchim avec du trifluorure de bore Modèle:Fchim[3] ou du chlorosilane Modèle:Fchim avec du trifluorure d'antimoine Modèle:Fchim[4] :
- 3 [[Chlorosilane|Modèle:Fchim]] + [[trifluorure d'antimoine|Modèle:Fchim]] ⟶ Modèle:Fchim + [[trichlorure d'antimoine|Modèle:Fchim]].
Le fluorosilane peut être utilisé pour déposer des couches de silicium[5].
Notes et références
- ↑ Modèle:Article
- ↑ Modèle:Article
- ↑ Modèle:En Advances in Inorganic Chemistry and Radiochemistry, Academic Press, 1961, Modèle:P.. Modèle:ISBN
- ↑ Modèle:En C. C. Addison, Inorganic Chemistry of the Main-Group Elements, Royal Society of Chemistry, 1973, Modèle:P.. Modèle:ISBN
- ↑ Modèle:Article