Nitrure de tantale

Modèle:Infobox Chimie Les nitrures de tantale sont des céramiques constituées de tantale et d'azote. Ils existent selon plusieurs stœchiométries et plusieurs polymorphes : Modèle:Fchim, TaN α, TaN ε, Modèle:Fchim, Modèle:Fchim et Modèle:Fchim. Le plus utilisé d'entre eux est le mononitrure de tantale TaN, qui est une céramique ultraréfractaire. Il est employé comme barrière et couche adhésive (Modèle:Lien) dans la production de circuits intégrés.

Il est possible d'obtenir des couches de nitrure de tantale de plusieurs manières. La méthode la plus utilisée est la pulvérisation cathodique de tantale en présence d'ions d'azote (pulvérisation réactive). Les procédés par dépôt chimique en phase vapeur ou par Modèle:Lang sont également envisageables. Ils nécessitent des précurseurs organométalliques comme sources de tantale. Une source d'azote est également nécessaire, comme l'ammoniac Modèle:Fchim, fréquemment utilisé, qui se dissocie aux températures habituelles de Modèle:Tmp de ces procédés. Des gaz tels que le tris(diéthylamido)(tert-butylimido)tantale(Modèle:V) Modèle:Fchim (n° CAS Modèle:CAS) peuvent servir de source à la fois de tantale et d'azote. Outre ces techniques, il est également possible de procéder par implantation ionique d'azote dans des couches de tantale.

Le nitrure de tantale(Modèle:V) Modèle:Fchim peut être obtenu en faisant réagir de l'oxyde de tantale(V) Modèle:Fchim avec de l'ammoniac Modèle:Fchim ou du chlorure de tantale(V) Modèle:Fchim avec du chlorure d'ammonium Modèle:Fchim :

3 [[Oxyde de tantale(V)|Modèle:Fchim]] + 10 [[Ammoniac|Modèle:Fchim]] ⟶ 2 Modèle:Fchim + 15 [[Eau|Modèle:Fchim]].