Disiliciure de tungstène
Modèle:Infobox Chimie Le disiliciure de tungstène est un composé chimique de formule Modèle:Fchim. Il s'agit d'une céramique réfractaire semiconductrice de couleur bleu-gris[1], obtenue notamment en faisant réagir de l'hexafluorure de tungstène Modèle:Fchim avec du silane Modèle:Fchim, du dichlorosilane Modèle:Fchim ou du disilane Modèle:Fchim[2] :
- 2 [[Silane (composé)|Modèle:Fchim]] + [[Hexafluorure de tungstène|Modèle:Fchim]] ⟶ Modèle:Fchim + 6 HF + [[Dihydrogène|Modèle:Fchim]] ;
- 2 [[Dichlorosilane|Modèle:Fchim]] + [[Hexafluorure de tungstène|Modèle:Fchim]] + 3 [[Dihydrogène|Modèle:Fchim]] ⟶ Modèle:Fchim + 6 HF + 2 HCl ;
- [[Disilane|Modèle:Fchim]] + [[Hexafluorure de tungstène|Modèle:Fchim]] ⟶ Modèle:Fchim + 6 HF.
Il est utilisé comme matériau de contact dans l'industrie des semiconducteurs, où il est appliqué par dépôt chimique en phase vapeur[3] (Modèle:Abréviation).
Notes et références
- ↑ Modèle:En W. M. Haynes, CRC handbook of chemistry and physics. A ready-reference book of chemical and physical data, David R. Lide, 93Modèle:E édition, CRC Press, Boca Raton, 2012, Modèle:P.. Modèle:ISBN
- ↑ Modèle:En Hugh O. Pierson, Handbook of Chemical Vapor Deposition. Principles, Technology and Applications, William Andrew, Elsevier Science, 1999, Modèle:P.. Modèle:ISBN
- ↑ Modèle:En R. A. Levy, Microelectronic Materials and Processes, Springer, 1989, Modèle:P.. Modèle:ISBN