Difluorosilane
Modèle:Infobox Chimie Le difluorosilane est un composé chimique de formule Modèle:Fchim. Il se présente sous la forme d'un gaz incolore[1] dont le point d'ébullition, de Modèle:Tmp, est le plus élevé des fluorosilanes[2]. Il se décompose aux températures supérieures à environ Modèle:Tmp pour former du trifluorosilane Modèle:Fchim, du tétrafluorure de silicium Modèle:Fchim ainsi que d'autres composés[3].
Le difluorosilane peut être obtenu en faisant réagir du dichlorosilane Modèle:Fchim avec du trifluorure d'antimoine Modèle:Fchim[4] :
- 3 [[Dichlorosilane|Modèle:Fchim]] + 2 [[trifluorure d'antimoine|Modèle:Fchim]] ⟶ 3 Modèle:Fchim + 2 [[Trichlorure d'antimoine|Modèle:Fchim]].
Cette réaction libère également du tétrafluorure de silicium Modèle:Fchim avec de l'hydrogène Modèle:Fchim[5].
Soumis à un arc électrique, les atomes d'hydrogène sont éliminés préférentiellement de la molécule Modèle:Fchim, ce qui libère de l'hydrogène Modèle:Fchim en donnant du 1,1,2,2-tétrafluorodisilane Modèle:Fchim[4] :
- 2 Modèle:Fchim ⟶ Modèle:Fchim + [[Dihydrogène|Modèle:Fchim]].
À température élevée, le difluorosilane peut se dismuter en échangeant un atome d'hydrogène et un atome de fluor entre deux molécules, ce qui donne du fluorosilane Modèle:Fchim et du trifluorosilane Modèle:Fchim[6].
Le difluorosilane peut être utilisé avec l'ammoniac Modèle:Fchim pour le dépôt chimique en phase vapeur (Modèle:Abréviation) de couches minces de nitrure de silicium Modèle:Fchim[7].
Notes et références
- ↑ Erreur de référence : Balise
<ref>incorrecte : aucun texte n’a été fourni pour les références nommées978-1-4398-8050-0 - ↑ Modèle:En E. A. V. Ebsworth, Volatile Silicon Compounds International Series of Monographs on Inorganic Chemistry, Elsevier, 2013, Modèle:P.. Modèle:ISBN
- ↑ Modèle:En Theodore M. Besmann, Proceedings of the Thirteenth International Conference on Chemical Vapor Deposition, The Electrochemical Society, 1996, Modèle:P.. Modèle:ISBN
- ↑ 4,0 et 4,1 Modèle:En C. C. Addison, Inorganic Chemistry of the Main-Group Elements, Royal Society of Chemistry, 1973, Modèle:P.. Modèle:ISBN
- ↑ Modèle:En Advances in Inorganic Chemistry and Radiochemistry, Academic Press, 1964, Modèle:P.. Modèle:ISBN
- ↑ Modèle:En E. A. V. Ebsworth, Volatile Silicon Compounds: International Series of Monographs on Inorganic Chemistry, Elsevier, 2013, Modèle:P.. Modèle:ISBN
- ↑ Modèle:Article